单晶炉生产工艺流程

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先将一定量的多晶硅原料放入坩埚中，加热至熔化，在拉杆下端装夹籽晶，沉浸到熔化的晶体原料中，将拉杆缓缓向上提拉，同时缓慢旋转，最终生长出圆柱体形状的单晶硅棒。

在单晶硅的生产过程中，温度的保持是一个重要问题，为了在保证生产温度的前提下降低能量损耗，炉体内壁一般采用附着保温层的形式，但是在炉体底部设置的废气孔中往往容易一些易燃气体或杂质，需要进行清除，现有的清除过程中往往对保温层的拆除量过大，延误工时的同时还容易造成保温层的损坏，具有较多的使用弊端。

18小时前

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