晶圆工厂的无尘车间什么级别

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一级

工作人员告诉我们,晶圆对生产环境的洁净度要求极高,这座车间的无尘等级为一级,也是半导体行业的最高等级,换句话说,车间每立方英尺(0.0283立方米)空间中,直径超过0.5微米的微尘离子不能超过1个。

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