儍儍嘀 2星
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MEMS（Micro Electro Mechanical System）是一种微型化的电子机械系统技术，将微纳制造技术、电子技术和机械技术相结合，制造微型化的传感器、执行器和微机电系统等。
该技术具有体积小、重量轻、功耗低、响应快等优点，被广泛应用于汽车、医疗、航空航天等领域。
2小时前
红颜如昔 2星
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MEMS就是将传统传感器的机械部件微型化后，通过三维堆叠技术，例如三维硅穿孔TSV 等技术把器件固定在硅晶元(wafer)上。
最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式，最终切割组装而成的硅基传感器。
1小时前
回答问题
久入芳香之室不闻其香
矗狠咹靜
mems的基本概念和基本构成
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