外延片与晶圆片的区别

平均分的爱 3个月前 已收到1个回答 举报

做倪的佐铒 4星

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区别是半成品和成品的区别。

外延片就是在衬底上做好外延层的硅片,外延是半导体工艺当中的一种,硅片最底层是P型衬底硅(有的加点埋层);然后在衬底上生长一层单晶硅,这层单晶硅称为外延层;再后来在外延层上注入基区、发射区等等。而晶圆片通常说经过光刻、蚀刻等工序形成的。所以外延片属于半成品,而晶圆属于成品。

5小时前

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